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漢微科宣布，與ASML簽署股份轉換契約，ASML將以每股一四一○元收購漢微科全部流通在外股份，交易總金額達一○○○億元，這宗交易案預計今年第四季完成。

【中央社台北十六日電】荷商艾司摩爾（ASML）將斥資新台幣一○○○億元收購

漢微科，ASML認為，雙方量測技術將具互補效益，兩公司結合，將有利協助客戶強化製程控制並提高良率。

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漢微科電子束量測技術可針對二D及三D圖案進行清楚的成像，ASML可藉此成像強化設計及製程模擬模型，有助ASML曝光機調整至最適狀態。此外，漢微科在電子束檢測極紫光外光應用於辨識光罩缺陷領域也具領導地位，未來也將有助提升ASML極紫光外微

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影系統平台效能。

隨著半導體製程技術不斷推進，十奈米以下及三D立體結構製程的製程技術及良率控制難度提高，需高密度、高解析度的量測技術，測量及控制半導體元件效能。

漢微科多年專注高解析度及電壓反差成像電子束產品及

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，位居電子束檢測設備龍頭，核心技術將可增加ASML包括微影曝光系統、運算微影及量測等全方位微影技術解決方案。

ASML在與漢微科聯合新聞稿中指出，收購漢微科是為使先進技術與設備更加精進，透過雙方量測技術互補，將能協助客戶強化製程控制並提高良率。

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，與ASML簽署股份轉換契約，ASML將斥資新台幣新台幣一○○○億元收購漢微科全部流通在外股份，每股收購價一四一○元。

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